環(huán)保半軟性填料廠家建設(shè)工業(yè)廢水回收系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)循環(huán)利用，用水大戶變身節(jié)水高手

　　環(huán)保半軟性填料生產(chǎn)廠家建設(shè)工業(yè)廢水回收系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)循環(huán)利用，用水大戶變身節(jié)水高手。位于北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)的中芯國(guó)際集成電路制造有限公司，不但是芯片巨頭，也是節(jié)水“高手”。這家用水大戶憑借自建的工業(yè)廢水回收系統(tǒng)，自建成以來(lái)已累計(jì)節(jié)水2400余萬(wàn)噸。按照昆明湖200萬(wàn)立方米容積計(jì)算，中芯國(guó)際節(jié)水量相當(dāng)于12個(gè)昆明湖。

　　在中芯國(guó)際廢水回收車間內(nèi)，伴隨著隆隆的機(jī)器聲，回收的工業(yè)廢水經(jīng)過(guò)活性炭塔、保安過(guò)濾器、反滲透膜三道過(guò)濾，源源不斷地匯入巨大的儲(chǔ)水罐。

　　“雖然是工業(yè)廢水，但如果白白排掉也是巨大浪費(fèi)。”中芯國(guó)際廠務(wù)水科經(jīng)理廉串海介紹，水是生命之源，對(duì)于中芯國(guó)際這樣的芯片生產(chǎn)企業(yè)來(lái)說(shuō)，水同樣是重要的“生命線”。

　　在芯片生產(chǎn)過(guò)程中，對(duì)晶圓進(jìn)行刻蝕是其中的重要步驟。刻蝕后的晶圓需要用超純水進(jìn)行清洗，而超純水的制備，則需要使用大量自來(lái)水。僅此一項(xiàng)，該企業(yè)一天就要用掉近1萬(wàn)噸水。廉串海介紹，超純水是比蒸餾水還要“純凈”的水，從自來(lái)水到超純水，當(dāng)中也有一部分損耗。

　　為了減少對(duì)自來(lái)水的消耗，中芯國(guó)際將目光投向了再生水源。在廠區(qū)的部分供水管線上，可以看到上面印有“小紅門中水”的字樣。廉串海介紹，在一些對(duì)水要求不高的工藝中，該企業(yè)已經(jīng)用上了來(lái)自小紅門、博大等再生水廠的再生水。

　　而真正的“大頭”，則是來(lái)自廠區(qū)自己的回收水。自2002年建廠以來(lái)，中芯國(guó)際自籌資金，先后建設(shè)了三套廢水回收系統(tǒng)，將水循環(huán)利用起來(lái)。“清洗產(chǎn)生的廢水，會(huì)集中收集到水箱進(jìn)行水質(zhì)檢測(cè)，隨后進(jìn)入回收系統(tǒng)，經(jīng)過(guò)層層過(guò)濾去除污染物，檢測(cè)合格的水會(huì)再次供應(yīng)到超純水設(shè)備。這樣一來(lái)，就能減少使用自來(lái)水，而我們自己排下來(lái)的水，又可以進(jìn)入生產(chǎn)循環(huán)，相當(dāng)于多了一個(gè)水源。”

　　廉串海說(shuō)，在這個(gè)過(guò)程中，處理系統(tǒng)主要監(jiān)測(cè)的指標(biāo)是TOC(總有機(jī)物)和電導(dǎo)率。過(guò)濾之后，水的電阻率要達(dá)到18兆歐以上，才能達(dá)到超純水的要求。而剩下不達(dá)標(biāo)的水也不會(huì)被浪費(fèi)，在冷卻塔等設(shè)備中，這些水也能物盡其用。“包括我們?cè)诔�純水制造中產(chǎn)生的廢水，我們也會(huì)想辦法利用起來(lái)，不讓它直接排走。”隨著該企業(yè)產(chǎn)能的擴(kuò)大，廠區(qū)的廢水回收系統(tǒng)也在不斷擴(kuò)建，節(jié)水能力不斷提升。

　　作為同行業(yè)中最早用上再生水的企業(yè)，建廠至今18年來(lái)，中芯國(guó)際已累計(jì)節(jié)水2400余萬(wàn)噸。放眼整個(gè)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)，萬(wàn)元GDP水耗連續(xù)多年保持在4立方米以內(nèi)，為北京市平均水平的三分之一，用水效率達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

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