環保半軟性填料廠家建設工業廢水回收系統實現循環利用，用水大戶變身節水高手

　　環保半軟性填料生產廠家建設工業廢水回收系統實現循環利用，用水大戶變身節水高手。位于北京經濟技術開發區的中芯國際集成電路制造有限公司，不但是芯片巨頭，也是節水“高手”。這家用水大戶憑借自建的工業廢水回收系統，自建成以來已累計節水2400余萬噸。按照昆明湖200萬立方米容積計算，中芯國際節水量相當于12個昆明湖。

　　在中芯國際廢水回收車間內，伴隨著隆隆的機器聲，回收的工業廢水經過活性炭塔、保安過濾器、反滲透膜三道過濾，源源不斷地匯入巨大的儲水罐。

　　“雖然是工業廢水，但如果白白排掉也是巨大浪費。”中芯國際廠務水科經理廉串海介紹，水是生命之源，對于中芯國際這樣的芯片生產企業來說，水同樣是重要的“生命線”。

　　在芯片生產過程中，對晶圓進行刻蝕是其中的重要步驟�？涛g后的晶圓需要用超純水進行清洗，而超純水的制備，則需要使用大量自來水。僅此一項，該企業一天就要用掉近1萬噸水。廉串海介紹，超純水是比蒸餾水還要“純凈”的水，從自來水到超純水，當中也有一部分損耗。

　　為了減少對自來水的消耗，中芯國際將目光投向了再生水源。在廠區的部分供水管線上，可以看到上面印有“小紅門中水”的字樣。廉串海介紹，在一些對水要求不高的工藝中，該企業已經用上了來自小紅門、博大等再生水廠的再生水。

　　而真正的“大頭”，則是來自廠區自己的回收水。自2002年建廠以來，中芯國際自籌資金，先后建設了三套廢水回收系統，將水循環利用起來。“清洗產生的廢水，會集中收集到水箱進行水質檢測，隨后進入回收系統，經過層層過濾去除污染物，檢測合格的水會再次供應到超純水設備。這樣一來，就能減少使用自來水，而我們自己排下來的水，又可以進入生產循環，相當于多了一個水源。”

　　廉串海說，在這個過程中，處理系統主要監測的指標是TOC(總有機物)和電導率。過濾之后，水的電阻率要達到18兆歐以上，才能達到超純水的要求。而剩下不達標的水也不會被浪費，在冷卻塔等設備中，這些水也能物盡其用。“包括我們在超純水制造中產生的廢水，我們也會想辦法利用起來，不讓它直接排走。”隨著該企業產能的擴大，廠區的廢水回收系統也在不斷擴建，節水能力不斷提升。

　　作為同行業中最早用上再生水的企業，建廠至今18年來，中芯國際已累計節水2400余萬噸。放眼整個北京經濟技術開發區，萬元GDP水耗連續多年保持在4立方米以內，為北京市平均水平的三分之一，用水效率達到國際先進水平。

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